用機械，物理，化學或物理化學法對腔體進行抽氣，以獲得真空的機器叫真空泵。真空泵有下列主要參數：
(1)抽氣速率：即泵的生產能力。就是對于給定氣體，在一定溫度，壓力下，單位時間內能從設備內抽走氣體的體積，單位為m³/s或m³/h
(2)極限真空：真空泵在特定條件下，經抽氣達到穩定狀態的最低壓力，單位為Pa或%。
(3)抽氣量：在一定溫度下，單位時間內從設備內抽走給定的氣體量，單位為m³/h
(4)啟動壓力：真空泵開始工作時的壓力。
(5)最大反壓力：真空泵在指定負荷下工作，其反壓力升高到某一定值時，泵失去正常的抽氣能力，該壓力稱為最大反壓力
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