渦輪分子泵的使用條件和維護方法
發布時間：2015年08月12日 10:55 閱讀：9124
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澤德
渦輪分子泵一般與離子泵、升華泵或低溫冷凝泵組合使用，用以排除泵不易排除的氫、氦和其他惰性氣體，避免造成不必要的浪費，不會單獨在小流量大抽速的情況下使用渦輪分子泵。
1.渦輪分子泵的運用性能與前級泵的關系
當氣體分子在渦輪葉片間的平均自由程減小到葉片間距的十分之一時，分子間的碰撞過多，使氣體的傳輸受到影響。一般來說，高真空入口端的渦輪葉片由于工作在較低的壓強，不會遇到這種情況，但是靠近出口端的葉片就經常處于這種過渡流的范圍內。為了改善渦輪分子泵的運用，出口端須配置一個工作壓強能到達10-4托抽速較大的前級泵。
2.防止渦輪分子泵返油
為防止渦輪分子泵本身以及前級泵的油蒸氣進入渦輪分子泵的高真空端。
開機前先用前級泵抽至2托，然后再啟動渦輪分子泵。停機時，從它的入口端漏入空氣達到5托的壓強，待渦輪分子泵停止轉動后再關閉它的出口閥門和機械泵，同時令渦輪分子泵內的壓強上升至大氣壓以減少軸承滑潤油的反擴散。或者是渦輪分子泵與前級泵同時停機，關閉它們中間的閥門，待渦輪分子泵停止轉動后，從高真空端(或從泵的中部)漏入空氣至大氣壓。
在渦輪分子泵運行中，不要在關閉它的出口閥的情況下漏入氣體使泵內壓強突然上升至10托以上。否則氣體將被壓至出口端，因沒有出路而反射，一部分進入軸承滑潤部分把油卷出帶到泵內并進入高真空端造成嚴重返油。
在渦輪分子泵與前級泵之間可串入一只擋油阱以防止機械泵油蒸氣的返流。
立式渦輪分子泵的真空系統的結構簡單，在改裝舊有擴散泵系統時可直接替代擴散泵而無須改動真空系統結構的特點；其次是泵內只有一組渦輪葉片，因而價格較低廉。
3.立式渦輪分子泵的缺點：
(1)泵口垂直向上，各種雜物顆粒容易落入泵體內造成損壞，因不能確定保護網眼能夠小到何種微小顆粒都不能通過，所以在泵口加保護網仍不能完全幸免。
(2)當泵內壓強突然上升至大氣壓強時，軸向會經受很大的沖力。
(3)在一般的立式泵中，轉子的質心并不處于兩個軸承的中間，而是靠近一個軸承甚或跑到兩個軸承之外，軸承、支撐和整個轉子的平衡條件稍稍改變，就容易產生振動。這種情形容易產生不穩定。
(4)中心軸承的替換很困難，為此必須取出整個轉子并拆開，同時替換的軸承不一定能夠與轉子的自然旋轉中心相吻合，這樣就產生了不平衡。
臥式泵能克服立式分子泵的基本缺點。但臥式泵有兩組渦輪葉片，體積大，外殼形狀復雜，因而造價也較高。
4.渦輪分子泵的烘烤去氣
由于渦輪分子泵的轉子是鋁合金制的，只能承受140℃的溫度，其中的滑潤油不到80℃時就開始分解，因此規定渦輪分子泵的烘烤溫度不得超過120℃。在外殼和定子的溫度達到120℃時，轉子被流動的滑潤劑冷卻，實際的溫升較小。若要繼續升高轉子的烘烤溫度，可停止冷劑的流動或使用其他方法加熱，但是要密切監視轉子的溫度。
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