高真空泵的特性

　　高真空泵的排氣速度它決定于進氣壓力。泵的排氣速度在很寬的壓力范圍內(nèi)保持常數(shù)而不決定于壓力。在低壓和高壓范圍內(nèi)排氣速度都有下降。在低壓下排氣速度的減小，是由于在這一范圍內(nèi)可以觀察到有氣體經(jīng)過蒸汽流股的反向擴散。此外，從泵的汽鍋流出的蒸汽流股所帶有的氣體的及泵壁放出的氣體開始起著重要的作用。當蒸汽流股在泵壁上冷凝時，有一定數(shù)量被流股壓縮至高壓的氣體(特別是在預負壓范圍內(nèi))溶解于冶凝液內(nèi)，井和冷凝液一起進入泵的汽鍋內(nèi)。除了反向擴散和泵壁析出的氣體外，溶解于冶凝液的氣體數(shù)量在很大程度上決定著泵的極限真空度數(shù)值，拌使有效排氣速度數(shù)值降低。隨進氣壓力的增加，其空泵從排氣系統(tǒng)中抽除的氣體數(shù)量和由反向擴散、析出氣體，以及蒸}氣流股由汽鍋帶出氣體等數(shù)量比較，是逐漸增大的。當上述兩種數(shù)量成為不能相比的數(shù)量極時，排氣速度開始與進氣壓力無關。

　　隨著進氣壓力的增加，泵的排氣壓力也隨之增大。泵的排氣壓力決定于預負壓排氣速度的數(shù)值。增加排氣壓力，可在流股中造成壓縮突變，壓縮突變移向噴口，井使流股離開泵壁(同時有氣體從預負壓側(cè)移至高真空側(cè))。這時泵的排氣速度開始減小，最后，排氣速度接近于預夤壓泵的排氣速度。