油擴散泵工作時，不管使用什么樣的泵油，總有部分油蒸氣返流入高真空端、這不但影響泵的極限壓力，還會對被抽容器造成污染。采用返油率評價泵的返流特性。返油率是指在泵人口處，單位時間，單位面積上返回泵油的質(zhì)量。不同泵油返油率不同，同一種泵油，油溫增高時返油率加大。泵的第一級噴嘴結(jié)構(gòu)、尺寸、形狀對返油率也有影響。
擴散泵返流油蒸氣的來源主要有以下幾個方面：
a．凝結(jié)于頂噴嘴表面上的油膜的再蒸發(fā)。
b．泵壁上凝結(jié)油膜的再蒸發(fā)和爬移。
C．噴嘴噴出的高速蒸氣射流碰到泵壁后的散射。
d．油蒸氣由噴嘴噴出后，由于油蒸氣分子的熱運動、碰撞、反彈，包括泵油爆沸產(chǎn)生的飛濺和壓力起伏引起的油分子直接向高真空側(cè)返流。
擴散泵油返流的解決辦法
在頂噴嘴上加一個優(yōu)選形狀的擋油帽，可使返油率大大降低。這種擋油帽的擋油效果較好且對泵抽速沒有太大的影響，所以在現(xiàn)代擴散泵的設(shè)計中經(jīng)常采用這種結(jié)構(gòu)。在頂噴嘴上方，緊貼泵壁加一擋油環(huán)，經(jīng)實驗得知，返油率最多可減少20％。
在對降低泵的返油率有更高要求時，可以在抽氣系統(tǒng)上采用各種結(jié)構(gòu)的冷阱和障板。也可以設(shè)計成低返油率擴散泵。另外，調(diào)好泵的最佳加熱功率值的方法亦可使返油率減小。在泵加熱開始和終止時，返油率將出現(xiàn)峰值，可以用控制泵口處的閥門的方法來克服。
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