蒸汽流擴散泵可根據工作液不同；結構材料不同和結構形式不同分類。
按擴散泵的工作液分類有汞擴散泵和油擴散泵兩種。汞對人體有害，而且汞的飽和蒸氣壓高，即使加冷凝器它的極限真空也比不上油擴散泵。因此目前大量使用的是油擴散泵，汞擴散泵僅用于被抽容器中存在汞蒸氣的特殊情況(如熒光燈的排氣系統中)。
按擴散泵的結構材料分類有金屬擴散泵和玻璃擴散泵兩種。玻璃擴散泵抽速較小，最大每秒僅有幾百升。但是玻璃擴散泵制造簡單，泵體本身以及與真空系統連接的地方都有可靠的氣密性，還有玻璃的透明性，可以用眼睛直接觀察擴散泵的工作狀態，所以在電光源生產上有著廣泛的應用。金屬擴散泵的抽速可以做得小，也可以制得較大，最大可達每秒十多萬升。
按結構形式分類有立式泵和臥式泵；單級泵和多級泵。目前使用最多的是三級和四級立式擴散泵。
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