真空機組的組成及特點
發布時間：2017年03月18日 09:00 閱讀：6953
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澤德
真空機組是由多臺真空泵及附件組成的成套真空獲得設備。機組中一般有粗抽泵(預抽泵)、前級泵、主抽泵和維持泵。
粗抽泵從大氣壓開始降低系統壓力，一直運行到另一抽氣泵可以開始工作。前級泵是用來維持另一個真空泵的前級壓力在臨界前級壓力以下的真空泵，前級泵也可以作為粗抽泵用。有些真空泵對前級壓力有要求，必須配前級泵，以維持其前級壓力低于要求值。有些泵不能從大氣壓力開始工作，必須配粗抽泵，達到預真空要求才能開始工作。如普通羅茨泵、分子泵、擴散泵、離子泵等真空泵，都需要配置粗抽泵和前級泵才能正常工作。
主抽泵(主泵)是機組中抽速最大、真空度最高的真空泵，是真空系統獲得最高真空度的真空泵。對于主泵來說，其他泵都可以算作其前級泵。
真空系統中有時氣體量很小，不能有效利用主泵的大抽速，為此配置抽速較小的輔助前級泵維持主泵正常工作或維持已抽容器的工作真空，這種泵稱為維持泵。維持泵的使用主要是從經濟環保的角度考慮的。
真空機組各組成泵之間取長補短、相互配合，在抽速和極限真空上都比單個的真空泵有很大提高。根據需要還可以啟動不同的泵或組合，從而能夠滿足多種要求。
從使用方便、安全角度出發，真空機組一般都配有真空閥門、充氣閥、波紋管、機架、冷卻水管路、斷水保護、真空繼電器、電器控制設備等。
常用的真空機組有：單級或多級羅茨泵配水環泵，單級或多級羅茨泵配滑閥泵，羅茨水環滑閥機組等。
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