油增壓泵的特點及應用
發布時間：2017年03月13日 09:37 閱讀：5563
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澤德
油增壓泵和油擴散泵的工作原理基本相同，均是油蒸汽流泵。兩種泵均需要有預真空環境，也均不能直接向大氣排氣，需要有前級泵。油蒸汽泵的結構相當簡單，維修和安裝都很容易。由于沒有機械磨損零件，其振動和噪音幾乎可以忽略，使用壽命也很長。由于是利用蒸汽流帶動氣體分子排氣，因此對越是分子量小的氣體，其抽氣能力就越大。
增壓泵的功率比擴散泵要大。增壓泵用于較大的環境和獲取較高真空度，擴散泵用于較小環境和獲取超高真空度。
真空泵油易于氧化，不應長時間暴露在大氣環境中。使用后必須首先關閉通向真空室的管道閥門，以防真空室放氣閥開啟時，因壓力急變導致真空泵油受激濺入真空室使之污染。使用后需待主泵中的泵油冷卻后才可停止前級泵的運轉，否則因主泵排氣口處壓力增高而侵入的空氣將使高溫的真空泵油嚴重氧化。
此類泵在泵油被加熱開始蒸發和冷卻循環后才進入正常的工作狀態，因此啟動較慢、此外油蒸汽難免會有少量進入真空室，這對某些工藝是不允許的。
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