蒸汽流真空泵事利用高速氣流與空氣之間的流體力學(xué)相互作用形成負(fù)壓而抽氣的裝置，主要有水蒸汽噴射泵、油擴(kuò)散泵、油擴(kuò)散噴射泵等類型。
噴射泵是由工作噴嘴和擴(kuò)壓器及混合室相聯(lián)而組成的。工作噴嘴和擴(kuò)壓器這兩個(gè)部件組成了一條斷面變化的特殊氣流管道，氣流通過噴嘴可將壓力能轉(zhuǎn)變?yōu)閯?dòng)能。工作蒸汽壓強(qiáng)和泵的出口壓強(qiáng)之間的壓力差，使工作蒸汽在管道中流動(dòng)。
在這個(gè)特殊的管道中，蒸汽經(jīng)過噴嘴的出口到擴(kuò)壓器人口之間的這個(gè)區(qū)域(混合室)，由于蒸汽流處于高速而出現(xiàn)一個(gè)負(fù)壓區(qū)。此處的負(fù)壓要比工作蒸汽壓強(qiáng)和反壓強(qiáng)只低得多。此時(shí)，被抽氣體吸進(jìn)混合室，工作蒸汽和被抽氣體相互混合并進(jìn)行能量交換，把工作蒸汽由壓力能轉(zhuǎn)變來的動(dòng)能傳給被抽氣體，混合氣流在擴(kuò)壓器擴(kuò)張段某斷面產(chǎn)生正激波，波后的混合氣流速度降為亞音速，混合氣流的壓力上升。亞音速的氣流在擴(kuò)壓器的漸擴(kuò)段流動(dòng)時(shí)是降速增壓的。
油擴(kuò)散泵、油擴(kuò)散噴射泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似，都是靠高速蒸汽射流來攜帶氣體以達(dá)到抽氣的目的，故有與水蒸汽噴射泵相似的特點(diǎn)。不同點(diǎn)是擴(kuò)散泵工作在高真空區(qū)域，其工作壓強(qiáng)范圍為10-2～10-6Pa，廣泛用于電子、化工、冶金、機(jī)械、石油及原子能等工業(yè)部門中。
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