1.機(jī)械法
①變?nèi)菡婵毡茫抢帽们蝗莘e的周期變化來完成吸氣和排氣以達(dá)到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。這種泵分為往復(fù)式及旋轉(zhuǎn)式兩種。往復(fù)式真空泵、旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線真空泵、液環(huán)真空泵、干式真空泵、羅茨真空泵屬于這一類。
②動(dòng)量傳輸泵，它依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇７肿诱婵毡盟羝麌娚浔谩U(kuò)散泵屬于這一類。
2.物理法
氣體捕集式真空泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵內(nèi)表面上的真空泵，可分為以下幾種形式。
①吸附泵。它是依靠具有大表面積的吸附劑(如多孔物質(zhì))的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。例如分子篩吸附泵。
②吸氣劑泵。它是一種利用吸氣劑以化學(xué)方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。例如，鈦升華泵和鋯鋁吸氣泵屬于這種類型。
③吸氣劑離子泵。它是使被電離的氣體通過電場(chǎng)或電磁場(chǎng)的作用吸附在吸氣材料的表面上，以達(dá)到抽氣的目的。它有如下兩種形式。
a．蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵。例如，軌旋式離子泵(或稱彈道式鈦泵)。
b．濺射離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺散出來的吸氣材料上以實(shí)現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。
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