吸氣離子泵的工作原理是被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的泵內表面上，從而形成真空。吸氣離子泵有濺射離子泵、蒸發離子泵等。
1.濺射離子泵：具有使用簡單、可靠、無熱、無噪聲、無水、耗電少、維護費低等優點。缺點是：對惰性氣體和大分子量的有機蒸汽抽速較低，陰極對污染很敏感，由于有笨重的磁鐵，重量大，體積大，單位抽速成本高。該泵的極限真空度為1．33×10-9Pa。
2.蒸發離子泵：泵內被電離的氣體傳輸到以間斷或連續方式升華或蒸發而復在泵內壁的吸氣材料上而被吸附。該泵對氫、氮、氬和氦都有不同的抽速。該泵啟動壓力為1．33×lO-1Pa，工作壓力范圍為1．33×10-1～1．33×10-8Pa。
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