真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發生化學反應，腐蝕泵內零件。 真空泵吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求真空泵具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。
極低的蒸氣壓是真空泵油的最重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蠟基窄餾分潤滑油，對于擴散真空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。
合適的粘度和良好的粘溫特性。真空泵腔內容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應具有合適的粘度和粘溫特性。
良好的熱氧化安定性。真空泵不斷向高速度發展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，油品很容易氧化分解，尤其擴散泵往往處于很高的溫度環境下工作，使系統內蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。
為達到最佳配置，選擇真空泵時，應考慮下述以下幾個要素：
確定真空泵的工作范圍：首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應的真空度范圍，必須認真研究確定之。確定真空泵的極限真空度：在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的極限真空度，因為系統的極限真空度決定了系統的最佳工作真空度。一般來講，系統的極限真空度比系統的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。壓下機蓋，面板上抽氣(真空)指示燈亮.真空泵開始抽氣，機蓋即被自動吸住，抽真空旋鈕可根據包裝要求調節真空度高低，調節時，視刻度由低至高，幅度要小。當抽氣達到設定的時間(即所要求的真空度)時，即抽氣結束，抽氣指示燈熄滅，充氣指示燈亮，以示充氣開始.充氣旋鈕可調節充氣時間長短(即充氣量多少)，方法同上.如不需要充氣.將電源開關撥到真空位置，程序自動進人真空包裝，充氣指示燈熄滅。抽氣或充氣完畢時，指示燈隨之熄滅，熱封指示燈亮，即進入封口程序，面板上設有熱封時間及溫度調節旋鈕，以適應不同厚薄材料，調節時間及溫度時，旋動幅度要小，防止熱封溫度突然增高，燒壞熱封配件。
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