油擴散泵抽氣系統及其操作注意事項

　　擴散泵、冷阱、閘板閥和機械真空泵是真空系統的主要零件。對設計合理的系統來說，清潔的真空室在不烘烤的情況下，一般可達到2×10^-4～5×10^-4Pa的壓力。真空系統中主要的氣體負載是水蒸氣。真空室內各零部件，在烘烤初時放出的氣體中的絕大部分是水蒸氣。為了快速抽除這些水蒸氣，在真空泵的上方．或者在真空室內設置一個液氮冷阱，就能達到這一目的。而所配的液氮冷阱對水蒸氣抽速可高達4000L/s。顯然，液氮冷阱的設置，也可大大降低油蒸氣的返流率。在對油蒸氣返流率要求不高的場合下，降低返油率的最簡單的辦法是采用高質量的泵液，或者在擴散泵的進口處設置一個水冷障板就行了。

　　在這系統中，僅用一臺機械泵。它既用于粗抽真空室，又用作擴散泵的前級泵。因此，在系統上分別設置了前級管道閥和粗抽閥。當機械泵用作粗抽時，應將前級管道閥關閉，如果粗抽時間在15min以內，而前級管道內的壓力升高又不明顯的話，這種布置是允許的。

　　裝在粗拙管道上的熱傳導規，是用來檢查機械泵的空載壓力的。第一個電離真空規是接于真空室的，以正確反映翅空竄內的壓力；第二一個電離兵空規安放在冷阱和閘板閥之間，用于監測擴敞象的空載壓力，也用來識別擴澈泵工作性能的好壞。

　　設置檢漏儀接口，利用這個接口可以在系統工作時，把檢漏儀接在系統上，為對真空室、阱和擴散泵等的檢漏捉洪最高的靈敏度，和最快的響應時間。粗抽管道上裝了捕集阱后，粗抽管道就不會被機械泵液所沾污了。機械泵的放氣閥應設在捕集阱的上方，以便在機械泵每次放氣時，可把蒸氣從真空事處排走。放氣沖洗閥，分別用于對液氮阱和真空室的沖洗。

　　這系統操作時應注意幾點：

　　①為了防止機械泵油的返流，工作室的粗抽，只能抽至壓力勾1 5Pa時為止。到此壓力后應關閉糧抽閥，并經一段延時后，打開高真空閥。

　　②系統的停機開始于關閉高真空閥，井使液氮冷阱升溫，讓擴散泵拙走由液氮冷阱所放出的氣體和蒸氣。如果讓冷阱自然地與周圍環境達到平衡，則視冷阱的結構不同，需要4～20h。用于燥氮氣吹液氮貯罐，可使這一時間大大縮短。當冷阱溫度達到0℃時，就可切斷擴散泵電源。在擴散泵冷卻到50 ℃時，關閉前級管道閥門，這時就可關掉機械泵并放氣。切不可在前級管道閥門尚未關閉時，就對機械泵放氣。因為這將使大量機械泵油蒸氣帶入擴散泵。最后，應把擴散泵的冷卻水關掉；③啟動系統時，首先要將冷卻水通入擴散泵外套，然后接通機械泵電源，在把粗抽管道里的氣體抽至某一壓力，如100Pa之后．就可打開前級管道閥門，并對擴散泵加熱器通電加熱。待擴散泵正常工作后，對液氮冷阱注入液氮，也可在擴散泵尚未正常工作之前灌以液氮，并關閉前級管道閥，使機械泵對真空室進行粗抽至l 5～20Pa后，即關閉粗抽閥，稍經延時后，先接通前級管道閥，最后就可打開高真空閥了。

　　④即使對一個設有液氮冷阱的真空系統，在經常啟動和關閉系統后，會有少量的油蒸氣沾污在冷阱的上方，甚至高真空室內。為此可采用這樣的沖洗辦法：切斷真空系統中擴散泵電源，使液氮冷阱升溫，用一定量的干燥氮氣流注入真空室，這干燥氮氣流決定于前級機械泵的大小，以使前級管道內壓力保持在25Pa左右為宜。這25Pa壓力的氮氣流會使早先吸附在冷阱上方及真空室內壁上的油蒸氣脫附出來，又不至于使機械泵油返流到前級管道中去。當需要再次使用系統時，關掉沖洗氣體，啟動擴散泵、冷卻冷阱即可。如用這種簡單技術來啟動和停掉真空系統，可節約大量電能、液氮和冷卻水。