制冷機低溫泵將低溫面、擋板組裝在封閉循環的低溫制冷機系統中，與制冷機組合為一體，尤其近年來，隨著可靠性高的小型制冷機商品化，使用帶小型制冷機的低溫泵越來越多。隨著研究趨勢向抽速大、抽氣時間短和壓強低的方向發展，制冷機低溫泵技術更具有重要意義：
①可以實現抽氣系統完全自動化，便于在真空工藝過程中集中控制。
②結構尤其適宜于S≥10m3/s系統。
③可實現較高的抽速，可達S≥100m3/s，滿足大型真空設備的需要。
封閉循環小型制冷機低溫泵由低溫泵體、抽氣低溫板、輻射屏蔽板、制冷機和壓縮機等部分組成。所選用的制冷機是兩級制冷，其制冷能力為：第一級為80K，50～80W；第二級為20K，1．5～10W，在無負荷時，最低溫度達到10K。制冷機的一、二級冷頭分別與輻射屏和低溫板相連，低溫板溫度如達到15～20K，大部分氣體都能冷凝，可達到抽氣目的。
制冷機低溫泵的制冷機一、二級冷頭直接和輻射屏、冷板相連，在制冷機與壓縮機連接管路中流動的是常溫、高(或低)壓氣體介質，不存在低溫介質的輸送問題，是目前比較理想的清潔超高真空泵。這種低溫泵廣泛用于薄膜制備、微電子學技術、高能物理、小型環境模擬設備以及其他各個工業領域。為得到超高真空，必須抽除氦、氖、氫等氣體，在低溫板上涂吸附劑加活性炭等即可達到此目的。
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