提高油擴(kuò)散泵極限真空的方法
發(fā)布時間：2016年04月22日 09:36 閱讀：6255
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澤德
提高油擴(kuò)散泵極限真空的方法大體分為擴(kuò)散泵結(jié)構(gòu)設(shè)計上的改進(jìn)、減少油蒸氣的返流和減少氣體的反擴(kuò)散三種，其主要途徑接下來一起了解下。
1．?dāng)U散泵結(jié)構(gòu)設(shè)計上的改進(jìn)
改進(jìn)擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)，如加分餾裝置；合理分配鍋爐加熱功率，增大鍋爐中心區(qū)；改進(jìn)噴嘴角度設(shè)計；在一級導(dǎo)流管中加裝加熱器進(jìn)行氣相加熱，以增加蒸氣流速度減少蒸氣流的散射。上述措施也以減少油的裂化、返流，提高擴(kuò)散泵的極限真空。
2．減少油蒸氣的返流
(1)加擋油帽
在第一級噴嘴上面，加水冷擋油帽，通常可使返油量降低半個到二個數(shù)量級。
(2)障板
使用水冷或低溫介質(zhì)冷卻的各種擋板，可使返油量大大降低。
(3)冷阱
使用液氮冷阱捕集返流蒸氣。液氮冷阱不能全部把油蒸氣擋住，仍有少量的油蒸氣分子通過冷阱進(jìn)入被抽容器中，其途徑：①兩個油分子之間的碰撞；②油分子和氣體分子的多次碰撞；③沒被捕獲的油分子反彈到高真空的區(qū)域中；④室溫下油從泵壁表面遷移。擴(kuò)散泵系統(tǒng)采用液氮冷阱后可獲得10-8Pa～10-9Pa的極限真空。
(4)吸附阱
擴(kuò)散泵進(jìn)氣口安裝13X型分子篩或氧化鋁吸附阱吸附返流的油蒸氣后，可以獲得10-8Pa～10-9Pa的真空度。這種阱有如下缺點：①吸附劑易粉末化；②吸附劑要再活化；③需經(jīng)常更換吸附劑，操作不便。
(5)鈦升華阱
擴(kuò)散泵和真空室之間裝上用液氮冷卻的鈦升華阱，既可以消除有機(jī)物蒸氣對系統(tǒng)的污染，又能降低CO、CO2和H2的分壓。
(6)閥門
擴(kuò)散泵油的返流，在泵啟動和停止后的一段時間內(nèi)有兩個最大峰值，泵運(yùn)轉(zhuǎn)時可利用閥門的關(guān)閉避開這兩個最大返油區(qū)。
3．減少氣體的反擴(kuò)散
反擴(kuò)散過去的氣體的分壓和擴(kuò)散泵前級排氣口處該氣體的分壓成正比，降低前級壓力和壓縮比可以降低。
擴(kuò)散泵的前級再串接一臺擴(kuò)散泵可以降低前級氣體分壓。采用多級泵(目前多采用四級泵代替原來的三級泵)，則可以降低壓縮比，使反擴(kuò)散減少。
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