擴散泵的性能不僅取決于泵體設計和制造工藝，還很大程度上取決于擴散泵油的優劣。
一般對擴散泵油的性能有如下要求：
(1)泵油的室溫飽和蒸氣壓要盡量低，一般要求小于10-6Pa，以利于提高極限真空；而泵油在沸騰時的飽和蒸氣壓要盡可能高，以利于能在較高的出口壓強下工作。這意味著油的飽和蒸氣壓應當有一個較大的梯度。
(2)良好的熱穩定性(在高溫下不分解)，抗氧化性能好(突然接觸大氣，不會因過分氧化而影響泵油的性能)，化學穩定性好(無腐蝕，不易和金屬、氣體起反應)，無毒害，以保證職工的身體健康。
(3)表面張力大，以減少泵油的爬遷，降低返油率，同時，室溫下的黏度要合適。
(4)閃點(著火溫度)要高，沸點要低，氣化熱要小，這樣可以降低泵的加熱功率。
(5)泵油應不含有水分、水溶酸、水溶堿、機械雜質等。對各種氣體和蒸氣的溶解度要盡可能小，以保證有高的極限真空和縮短抽氣時間。
(6)價格低廉。
擴散泵油的種類
(1)礦物油。它是從石油中提煉出來的具有低飽和蒸氣壓的成分。
(2)有機酸酯類油。它的分子量很大，蒸氣壓低，但易氧化和水解，主要產品為奧克脫依耳(化學名稱為已癸二酸二乙酯)。
(3)硅油。它的飽和蒸氣壓低，熱穩定性好，在300℃長時間加熱不會裂解，在200℃短時間同大氣接觸也不會氧化。同時，它的黏度隨溫度的變化也小。
(4)醚。它具有較低的飽和蒸氣壓，較大的表面張力，無碳氧化合物的污染，主要產品有聚苯醚。
從室溫飽和蒸氣壓，抗氧化性能，返油率，抽速等方面性能來看，擴散泵質量從好到差的順序是：硅油、聚苯醚、C20烷基萘、酯類油、天然碳氧化合物(石油類)。
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