渦輪分子泵和復合渦輪泵
發布時間：2016年03月02日 09:15 閱讀：5922
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澤德
20世紀70年代末，人們對真空裝置提出更高要求，即除了能獲得更高真空度之外，還需要在排氣之后導人各種各樣的氣體，并使其在真空裝置中發生化學反應。所采用的泵應能高抽速地排除這類富于反應性的氣體，需要的排氣能力甚至比低溫冷凝泵還高。為了滿足這種日益增長的需求，渦輪分子泵和復合渦輪泵逐漸推廣普及。
1.渦輪分子泵
渦輪分子泵可以認為是極為精密的電風扇。當然，其作用不單單是送風，而是靠高速旋轉的葉片對氣體分子施加作用力，并使氣體分子向特定的方向運動而實現高真空。
渦輪分子泵的轉子葉片具有特定的形狀，在它以20000～30000r／min的高速旋轉的同時，葉片將動量傳給氣體分子。葉片組高速運動，將位于左側的氣體分子向右側空間傳送。實際上，葉片上述的高速運動是靠高速旋轉來實現的。葉片周邊的線速度一般為200～300m／s，相當于空氣分子平均速率的1／2，與波音飛機的航速不相上下。為了獲得高真空，渦輪分子泵中裝有多級，其中轉動葉片與固定葉片交互布置。
上一級葉片輸送過來的氣體分子又會受到下一級葉片的作用繼續被壓縮到更下一級。因此，渦輪分子泵的一個特點是對一般氣體分子的抽除極為有效。
由于渦輪分子泵對于氣體的壓縮比很高，因而工作時油蒸氣的回流問題完全可以忽略不計。渦輪分子泵的極限真空度可達到10-8Pa的數量級，抽速可達1000L／s，而達到最大抽速的壓力區間是在l～10-8Pa之間，因而在使用時需要以旋片機械泵作為其前級泵。由于渦輪分子泵的價格較高，因而多使用在需要無油污染的高真空系統之中。
2.復合渦輪泵
復合渦輪泵是在普通渦輪分子泵基礎上，為進一步提高排氣量而開發的。在渦輪分子泵的高壓側，設置高速旋轉的螺紋，依靠螺紋部位的旋轉運動，進一步將氣體向排出口一方壓縮，增加出口與入口的壓差。這樣，即使吸人口壓力提高，分子泵也能工作，從而將泵的工作壓力范圍向較高壓力一側擴展，以滿足大排氣量的需求。與相同口徑的泵相比，在10Pa的壓強下，抽速可以提高數倍。復合渦輪泵是一種新出現的干式泵，適合于大排氣量應用。特別是對于在真空室中需要發生化學反應，采用濕式泵時油會變質等場合，其優勢更為明顯。此外，復合渦輪泵對于食品等有機物的處理等也是極為重要的。
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