調試好的新泵可直接接入真空系統工作。舊泵或長期放置的新泵，在接入真空系統前，應對泵中零件進行清潔處理，并換油。
①除去泵芯表面和泵壁上的雜質和各種油污。
②用丙酮、四氯化碳或干凈汽油擦洗各零體和泵內壁表面，玻璃油擴散泵用重鉻酸鉀洗液清洗。保持周圍環境清潔，無灰塵，然后用熱風吹干。
③按順序將泵芯裝入泵體內，調整好各級噴嘴間隙，然后按規定數量加足泵油，可根據經驗測量油層深度，一般約1～2cm深即可。
④檢查加熱電爐的電爐絲是否燒斷、短路，電爐的絕緣性能、保溫性能是否良好。
⑤檢查水冷管(或水冷套)是否漏水、堵塞，要求水路暢通，水量充足。
⑥將泵接入真空系統，并對系統進行檢漏，要求系統漏氣率在允許范圍內。
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