干式真空泵的應用及分類
發布時間：2015年12月14日 09:29 閱讀：6024
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澤德
在近年來，由高真空油擴散泵和作為前級泵的油封式機械泵組成的排氣系統，在各工業部門廣泛得到應用。在這樣的真空系統中不可避免地要發生油蒸氣的返流、使真空容器遭到污染，而且在真空容器中進行作業所用的工藝氣體會在油中溶解，工藝過程反應生成的顆粒狀副產物也會在油中積聚，使油本身變質劣化。
近年來，半導體芯片制造產業發展提出的要求，作為高真空泵不能有油蒸氣存在，因此無油的渦輪分子泵、復合分子泵在該領域得到了廣泛的應用。但是，前級泵還沒有真正解決真空系統無油污染的技術難題。1984年以前研制過一些實驗室和專門用途的干式泵。但價格昂貴、運行間隙過小，很難在商業上推廣應用。之后，相繼出現了多種型式的干式泵，主要應用于半導體產業。
干式真空泵也稱為無油真空泵。在泵的抽氣流道中，不能使用任何油類和液體。排氣口與大氣相通，能連續向大氣中排氣。能產生10-2Pa壓力范圍的真空。
干式真空泵的分類
現在市場上提供的干式真空泵種類很多。可分為兩類：容積式和動量傳輸式。容積式無油真空泵，如多級羅茨泵、爪型泵、往復式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等。這種干式泵的極限壓力一般為0.1～10Pa，抽速為0.01～0.04m3/s。動量傳輸式的無油真空泵，如渦輪式無油泵。排氣側與大氣相接，在連續流狀態下壓縮比較高。它是一種粗抽泵，可從標準大氣壓抽到10-2Pa。在結構上采用徑向和周向流泵的復合式結構，多級串聯取氣。這種泵的極限壓力約為10-2Pa，抽速為0.02～0.15m3/s。
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