油擴散噴射泵工作原理和應用

　　油擴散噴射泵利用高壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣的真空泵。油擴散噴射泵廣泛用于真空冶煉、空間模擬試驗、真空鍍膜和對油污染不敏感的一些真空系統中。在真空系統中，它可以用作為主軸泵，也可串聯在油擴散泵與機械真空泵之間，用來提高抽氣系統在中間壓力范圍的抽氣量和降低前級機械真空泵的抽速容量。因此它又常稱為油增壓泵。

　　同油擴散泵一樣，它也由擴散噴嘴、噴射噴嘴、泵體、擴散器、油鍋、蒸氣導管、冷卻系統和加熱器等部分組成。但在性能和泵的結構上，它同油擴散泵有不同之處。兩者的極限真空不同，油擴散噴射泵的排氣量就比前者大。油擴散泵裝設有分餾和凈化裝置，而油擴散噴射泵不但不要裝分餾和凈化裝置，還要采用較大的加熱功率加熱和采用沸點低、飽和蒸氣壓高的泵油，致使油擴散噴射泵的油鍋蒸氣壓比擴散泵大數倍或數十倍，即高達數百帕以至數干帕。油擴散噴射泵需要裝設大擴張率(噴嘴的出口面積與其喉部面積之比)的噴射噴嘴和長的擴散器來提高泵的前級反壓力，因此，油擴散噴射泵是兼具油擴散泵和噴射泵抽氣性能的真空泵。

　　油擴散噴射泵屬動量傳輸真空泵。利用高壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣。又稱油增壓泵(可應 用于大型油擴散泵的出口處，來增壓其出口壓強)。與油擴散泵相比，二泵的抽氣原理無多大區別，但 在結構和性能上卻有不同之處，油擴散噴射泵不需裝分餾和凈化裝置，但要采用較大的加熱功率加熱和 采用沸點低、飽和蒸氣壓高的泵油，使油蒸氣壓比擴散泵大數倍或數十倍。油擴散噴射泵還須裝設大擴 張率(噴嘴的出口面積與其喉部面積之比)的噴射噴嘴和長的擴散器來提高泵的前級反壓力，所以泵能穩 定的工作在10^-1-1帕或更高的壓力范圍(擴散泵為10^-1-10^-4)，其極限壓力為10^-2帕(擴散泵為10^-1-10 ^-5帕)，抽氣速率為幾百到幾萬升每秒，最大反壓力為幾百帕。作為中真空獲得的主要設備，油擴散噴 射泵廣泛用于真空冶煉，真空鍍膜等對油污染不敏感的真空系統中。